治具・検証機

治具詰め替え機

項目 仕様
電源 AC100V/5A
エア 0.4Mpa
装置重量 40Kg
装置サイズ W700×D590×H395

本設備は、専用トレー 内に収納された製品を、所定の個数ごとに個装トレーへ移し替えるた為の卓上装置

※制御ボックスは別置き

 



IV測定治具

項目 仕様
電源 AC200V/40
エア 0.4Mpa
装置重量 700Kg
装置サイズ W1600×D1200×H2130
ワークサイズ 6inch

本設備はエッチング加工されたウェハ内のチップをレーザースキャン式で厚さを測定する装置である。

測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存可能、要望に合わせカセットバファの追加などカスタム対応可能。



塗布ロボット

項目 仕様
電源 AC100V/20A
エア 0.4Mpa
装置重量 20Kg
装置サイズ W200×D400×H300
ワークサイズ 6inch~12inch

塗布ロボットは、セットされた筺体に指定形状で接着材を塗布する卓上型装置

塗布の形状は付属のノートパソコンの専用ソフトにてプログラミングでき、塗布後の線切れ測定を行うことも可能

※対応サイズはカスタマイズ可能



オリフラ合わせ器

項目 仕様
ウェハ径 Φ2~Φ6inch
装置重量 2.5Kg
装置サイズ W190×D204.2×H81
対象ワーク ガラス、シリコン、他

キャリア内のオリフラを合わせます。

写真中央のシリコンローラにてウエハを回転させ全てのウエハを整列させる事ができます。

 

※掲載のオリフラ合わせ器は2inchモデルとなります。

※詳細についてはお問い合わせ下さい。



本ページにて掲載している設備は全てお客様の希望される仕様に合わせ製作を行なった、カスタムオーダーの製品です。

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